上海微電子拿下1.1億光刻機(jī)大單
日前，來(lái)自中國(guó)政府采購(gòu)網(wǎng)的公告顯示，上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司成功中標(biāo)一項(xiàng)金額接近1.1億元的光刻機(jī)采購(gòu)項(xiàng)目。這一消息不僅標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)高端半導(dǎo)體裝備在實(shí)際應(yīng)用中取得實(shí)質(zhì)性進(jìn)展，也再次點(diǎn)燃了資本市場(chǎng)對(duì)本土產(chǎn)業(yè)鏈自主可控能力的信心。
據(jù)公示信息顯示，此次中標(biāo)的設(shè)備為一臺(tái)SSC800/10型步進(jìn)掃描式光刻機(jī)，成交價(jià)格為109,999,850元。該設(shè)備將用于支持國(guó)內(nèi)某重點(diǎn)科研或制造單位的產(chǎn)線建設(shè)，其交付與部署有望進(jìn)一步提升我國(guó)在成熟制程領(lǐng)域的制造能力。
作為國(guó)內(nèi)光刻設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，上海微電子自2002年成立以來(lái)，長(zhǎng)期聚焦于半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體裝備的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，目前已具備覆蓋90納米及以下工藝節(jié)點(diǎn)的技術(shù)能力。
上海微電子官方網(wǎng)站顯示，公司目前擁有5大光刻設(shè)備系列：SSX600系列光刻機(jī)、SSB500系列光刻機(jī)、SSB300系列步進(jìn)光刻機(jī)、SSB200小Mask系列曝光機(jī)、SSB200大Mask系列曝光機(jī)。
在外部技術(shù)封鎖加劇、全球供應(yīng)鏈不確定性上升的背景下，國(guó)內(nèi)晶圓廠對(duì)本土設(shè)備的驗(yàn)證和導(dǎo)入節(jié)奏明顯加快。分析人士指出，隨著成熟制程產(chǎn)能持續(xù)擴(kuò)張，以及AI、汽車(chē)電子等下游應(yīng)用對(duì)芯片需求的增長(zhǎng)，國(guó)產(chǎn)光刻設(shè)備正迎來(lái)從“能用”向“好用”過(guò)渡的關(guān)鍵窗口期。
作為上海微電子的重要參股方之一，張江高科股價(jià)在公告發(fā)布次日顯著走強(qiáng)，盤(pán)中漲幅一度逼近漲停，反映出投資者對(duì)國(guó)產(chǎn)核心設(shè)備突破的高度期待。
與此同時(shí)，行業(yè)技術(shù)路線也在穩(wěn)步推進(jìn)。除本次中標(biāo)的設(shè)備外，業(yè)內(nèi)傳聞上海微電子的193nm ArF浸沒(méi)式光刻機(jī)已進(jìn)入中芯國(guó)際等頭部代工廠的內(nèi)部測(cè)試階段，目標(biāo)直指28納米工藝節(jié)點(diǎn)。而在更前沿的EUV領(lǐng)域，盡管仍面臨光源、光學(xué)系統(tǒng)等多重技術(shù)壁壘，但相關(guān)原型機(jī)研發(fā)工作已取得階段性成果。
政策層面的支持同樣不容忽視。近期，上海市政府出臺(tái)多項(xiàng)舉措，強(qiáng)化本地集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)，包括加強(qiáng)算力基礎(chǔ)設(shè)施布局、鼓勵(lì)關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)，并對(duì)取得重大資質(zhì)的企業(yè)給予高額獎(jiǎng)勵(lì)。這些措施為設(shè)備廠商提供了良好的發(fā)展環(huán)境。
當(dāng)然，挑戰(zhàn)依然存在。光刻機(jī)作為半導(dǎo)體制造中最復(fù)雜、最精密的設(shè)備之一，其性能穩(wěn)定性、良率控制及與整條產(chǎn)線的協(xié)同能力，仍需在長(zhǎng)期運(yùn)行中不斷驗(yàn)證。但此次1.1億元項(xiàng)目的落地，無(wú)疑是一個(gè)積極信號(hào)——它不僅是一筆商業(yè)訂單，更是國(guó)產(chǎn)裝備獲得用戶(hù)信任的有力證明。
未來(lái)，隨著更多類(lèi)似項(xiàng)目的推進(jìn)，中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)有望在全球價(jià)值鏈中占據(jù)更加堅(jiān)實(shí)的位置。而上海微電子的這一步，或許正是通往更高技術(shù)水平與更大市場(chǎng)份額的起點(diǎn)。
